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根据市场表现、龙头地位、盈利能力等多个指标筛选出高纯工艺设备上市公司概念中几只龙头股名单：

至纯科技603690：高纯工艺设备龙头股，10月28日收盘消息，至纯科技最新报价38.540元，跌1.68%，3日内股价下跌2.96%；今年来涨幅下跌-22.91%，市盈率为43.26。

10月28日消息，至纯科技资金净流出1423.13万元，超大单净流出789.02万元，换手率3.23%，成交金额4.07亿元。

国内高纯工艺系统与高纯工艺设备龙头。

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